电容式传感器是把被测的机械量，如位移、压力等转换为电容量变化的传感器。它的敏感部分就是具有可变参数的电容器，其适合常用的形式就是由两个平行电极组成、极间以空气为戒指的电容器。若忽略边缘效应，平板电容器的电容为εS/d，式中ε为极间介质的介电常数，S为两电极互相覆盖的有效面积，d为两电极间的距离。Ε、S、d三个参数中人一个的变化都将引起电容量变化，并可用于检测。

　　因此电容式传感器可以分为极距变化型、面积变化型、介质变化型三类。极距变化型一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变化。面积变化型一般用于测量角位移或较大的线位移。介质变化型常用语物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。

　　电感式传感器是利用电磁感应把被测的物理量如位移、压力、流量等转换成线圈的自感系数和互感系数的变化，再由电路转换为电压或电流的变化量输出，实现非电量到电量的转换。