电容式传感器的输出电压，输入功率之间的关系F作为一种力量。KC和Ku是无能为力的位移，位移电容器，电容器的输出电压比例系数;传感器的输出电压U。很显然，在力的位移，位移的电容，电容的输出电压的每个环节的过程中，传感器的结果受到影响。电容检测电路的线性度很容易得到保证，即，库是恒定的，所以影响传感器的线性度的主要因素是力-位移和位移-电容转换过程的非线性。

　　普通电容式传感器结构是0静态频率检测，传感器位移x和测力是x = KSF之间的关系。一般的弹簧设计是线性的，即KS的位移变化是恒定的，力-位移转换过程是完全线性的，非线性的传感器没有贡献的。对电容器的位移有2种结构变量和重叠区域可变间隙板。变面积的良好的线性度，但在相等的位移变化比的可变间隙的电容是小的，所以实际的多变量间隙法。

　　线性的力和位移之间的关系是影响传感器线性度的又一个主要因素，通常在结构设计中会尝试提高线性度。但考虑到非线性结构的位移与电容之间的关系，其力与位移之间的比例随位移的绝对值的增大而减小，并在一定程度上抵消了非线性和改善力与电容的线性关系。

　　通过选取梁的宽度、应力和位移、位移和微分电容的非线性特性，在一定程度上抵消了彼此的非线性特性，从而提高了传感器的线性度。